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超声微测量系统

超声微测量系统-CAT-ULT0007
  • MEAS
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  • SL-900
SL-900 系列超声微测量系统是半导体行业中超纯化学液体检测和测量的理想解决方案。
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产品特性

  • 超声波传感器类型 : 点液位传感器

  • 超声波传感器种类 : 端子

概述

在化学气相沉积过程中精确而可靠地测量液位对半导体晶片制造过程而言及其重要。 SL-900 系列传感器可提供单个或多个精度非常高的离散点液位。这款超声系统非常适合高粘度液体，如 DMAH、钛前驱体和铜前驱体。

特性

  • 316 L 不锈钢加工传感器主体
  • 传感器材料经电解抛光处理（Ra = 25 µin – 最小值）
  • 微型传感器大小有助于减少液体体积位移
  • 高达 250 PSIG (1724 kPa) 的高压容器应用（有关超出此值的高压应用，请咨询厂商）
  • 每个离散点液位的精确度为 ±2 mm
  • 典型的 ±1 mm 重复性
  • 对于 5/8" 管和 1/2" 管，自容器底部的单点低液位分别低至 1/4" (6mm) 和 5/16"
  • 无论化学液体的电介质、粘度、颜色、密度和不透明度如何，皆适用于以下化学物质：DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、TEOS、DCE、TCA

应用

  • 半导体行业
  • 制药业
  • 高压容器 
规格特性

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产品类型特性

  • 超声波传感器类型  点液位传感器

  • 超声波传感器种类  端子

电气特征

  • 输出类型  双色 LED 和 ½ A 继电器

使用环境

  • 工组温度范围  -30 – 93 °C [ -22 – 198 °F ]

  • 压力  17.2 bar [ 250 psi ]

操作/应用

  • 启动点/感应范围  可变

其他

  • 端口接头  1/2 NPT | 3/4 VCR，公端/母端

相关资料

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