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传感器
压力传感器
板装式压力传感器
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MS52XX的传感器元件由微机械加工的硅膜片组成,背面通过真空键合硼硅玻璃片以形成参考压力。植入的电阻利用压阻效应来感应施加在膜片上的压力。该传感器采用特殊工艺安装,可实现最佳零点稳定性,使其适合直接PCB组装。
这款微型压力传感器MS52XX的典型应用包括:
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