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概述

在化学气相沉积过程中精确而可靠地测量液位对半导体晶片制造过程而言及其重要。 Measurement Specialties SL-900 系列可提供单个或多个具有很高精度的离散点液位。SL-900 系列超声系统非常适合高粘度液体,如 DMAH、钛前驱物和铜前驱物。

优点

  • 316 L 不锈钢加工传感器主体
  • 传感器材料经电解抛光处理(Ra = 25 µin – 最小值)
  • 微型传感器大小有助于减少液体容量位移
  • 无论化学液体的电介质、粘度、颜色、密度和不透明度如何,皆适用于以下化学物质:DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、TEOS、DCE、TCA
  • 高达 250 PSIG (1724 kPa) 的高压容器应用(有关超出此值的高压应用,请咨询厂商)
  • 每个分离点位的精确度为 ±2 mm
  • 典型的 ±1 mm 重复性
  • 对于 5/8" 管和 1/2" 管,自容器底部的单点低液位分别低至 1/4" (6mm) 和 5/16"

应用

  • 半导体工业
  • 制药业
  • 高压容器
特性

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产品类型特性

  • 传感器类型  Point Liquid Level Sensors

  • 类型  Contact

结构特性

  • 电缆  最大 24 英寸带应力消除的屏蔽,9 插针连接器

电气特征

  • 输出  双色 LED 和 ½ A 继电器

  • 输入  可变

操作/应用

  • 压力范围  250 psi

  • 工艺连接  1/2 英寸、3/4 英寸 VCR,公端/母端

  • 启动点/感应范围  可变

其他

  • 工作温度 DEGF  -22 – 198

  • 工作温度 DEGC  -30 – 93

相关资料

目录页/数据表

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